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“中国芯”关键材料国产化

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193nm ArF光刻胶

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量产筹备中敬请期待
· 193nm ArF光刻胶已通过存储、逻辑两家芯片制造企业验证，成为国内首个通过验证的ArF光刻胶产品
· 2021年建党100周年前夕，顺利通过国家“02-专项”验收

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