新闻资讯

2022年5月10日，南大光电具有自主知识产权的TMA自制产品正式下线并圆满完成首销，一举打破了我国在TMA合成方面的长期空白，为我国半导体产业原材料品质的稳定可控、供应链的安全提供了切实保障，同时也为三甲基铝的进一步应用扩展打开了大门，成为南大光电科技报国的又一力证。

三甲基铝（TMA）是自燃化合物,广泛应用于太阳能、LED、第三代半导体以及集成电路高K材料中，它还可以用来制备第三代半导体常用的甲基类化合物，比如三甲基镓或三甲基铟，也是高端茂金属聚乙烯催化剂助剂（甲基铝氧烷）的必须材料。TMA由于对水氧极其敏感、纯度要求极高、合成工艺路线复杂，因此我国一直处于依赖进口的劣势。

南大光电TMA合成项目由公司首席科学家杨敏博士任主要负责人，南大光电半导体材料有限公司作为研发及产业化落地载体，致力于打通TMA合成工艺路线，打破原料限制，实现对内外部客户的量产供应。项目于2018年末启动进行实验室研发；2019年上半年开始进行中试的设计、安装、调试、试生产；2020年中期，在中试取得阶段性成果的基础上，开始进行产业化的设计、安装、调试、试生产；2022年4月22日，产出高纯度的合格产品。

一路走来，筚路蓝缕。回首过去总是容易的，然而一路经历的酸痛苦辣只有身在其中才能体会：从文献调研确定新路线的突破点，从手套箱里一步步小试的证实和稳定，从一个个产品的分析及方法的确定，从小试转中试的“堵点排查”，从每周上百次核磁的原因分析，从一次又一次的工艺调整，从一次次夜班的外卖和“可乐”，从“屡战屡败”到“屡败屡战”，从产线的清洗安装检漏到试产前的不眠，从“堵得怀疑人生”到“顺得战战兢兢”的情绪起伏，从等待产品分析结果前夜打掼蛋把对手当成队友的紧张到半夜分享好消息的快乐......

忘不了茅总的不懈鞭策，忘不了吉工的悉心指导，忘不了陆厂的悉心把关，忘不了安全、分析品管及各部门的有求必应、迅猛出动，忘不了各供应商的同心协作，忘不了项目组成员拖着疲惫身躯前行的坚定以及成功后脸上洋溢着的喜悦！

南大光电创始人孙祥祯教授一直致力于高纯电子材料的国产化，他创立的南大光电打破了国际封锁，开创了我国自主MO源材料，促进了我国LED、第三代半导体的迅猛发展，孙老师心里还装着一个个的其他关键材料，三甲基铝的自产可以将一个材料从清单中划出，后面还将有更多的材料跟进。