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“中国芯”关键材料国产化

前驱体材料

光刻胶及配套材料

三甲基镓（TMGA）

三甲基镓（TMGA）

中文名：三甲基镓
英文名：Trimethyl Gallium(简称TMGa）
熔点：-15.8℃
沸点：55.7℃
蒸气压：14.7kPa(10℃)
存储温度: 安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级：Adduct、Semi

三甲基铟（TMIn）

三甲基铟（TMIn）

中文名：三甲基铟
英文名：Trimethylindium(简称TMIn）
熔点：88.4℃
沸点：133.8℃
蒸气压：lgP=(10.52-3014/T)×133.3224 ，T=（℃+273.15）K
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级：Adduct、Semi

三甲基铝(TMAl)

三甲基铝(TMAl)

中文名：三甲基铝
英文名：Tri-methyl Aluminium (简称TMAl）
熔点：15℃
沸点：127℃
蒸气压：lgP=(8.85-2323/T)×133.3224 ， T=（℃+273.15）K
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级：Adduct、Semi

三乙基镓(TEGa)

三乙基镓(TEGa)

中文名：三乙基镓
英文名：Triethyl Gallium(简称TEGa）
熔点：-82.3℃
沸点：142.6℃
蒸气压：lgP=(7.95-2111/T)×133.3224 ，T=（℃+273.15）K
存储温度：安全温度≤51℃，建议储存温度0-25℃
产品等级：Adduct、Semi

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